확산형 실리콘 압력 센서의 히스테리시스 특성에 영향을 미치는 요인

12-03-2024

마이크로사이버의 NCS-PT105ⅡS 시리즈지능형 압력 트랜스미터고급 마이크로프로세서 기술과 디지털 용량 측정 기술을 결합하여 정교하고 성숙하며 신뢰할 수 있는 압저항 실리콘 압력 센서를 채택하여 세심하게 설계했습니다. 내부 마이크로프로세서의 강력한 기능과 고속 작동 능력으로 인해 송신기는 지능, 고정밀, 높은 신뢰성 및 안정적인 영점과 같은 우수한 품질을 갖게 됩니다. LCD 모듈은 압력, 온도, 전류 등 다양한 물리량을 표시할 수 있습니다. 주요 작동은 제로 마이그레이션 및 범위 설정과 같은 다양한 기능을 실현할 수 있어 현장 디버깅이 쉽습니다.

 

NCS-PT105ⅡS 시리즈지능형 압력 트랜스미터수사슴, FF, 아빠 프로토콜을 지원하고 석유, 화학, 전력, 야금 및 기타 산업에서 널리 사용될 수 있는 압력, 차압, 액체 레벨, 유량 및 기타 산업 매개변수를 측정할 수 있습니다.

 

반도체 기술의 발전과 함께 확산형 실리콘 압력 센서의 기술 지표는 지속적으로 개선되고 있지만, 비전통적이고 다중 값 대응 장치에 내재된 확산형 실리콘 압력 센서의 히스테리시스 비선형 특성으로 인해 측정 정확도가 제한됩니다. 현재 센서의 히스테리시스 특성에 대한 국내외 연구는 상대적으로 적으며 신경망을 사용하여 직접 모델링할 수 없다는 것이 문헌을 통해 입증되었으며, 대부분의 학자들의 연구는 일반적인 비선형 처리로서 히스테리시스 비선형이며 그 결과는 다음과 같습니다. 보상 정확도 요구 사항을 충족할 수 없습니다.

 

확산 실리콘 압력 센서의 작동 원리는 동일한 4개의 확산 저항기의 저항값으로 만들어진 실리콘 컵의 해당 표면에서 반도체 평면 제조 공정을 사용하고 확산 저항기를 적절하게 연결하여 휘스턴 브리지를 형성하는 것입니다. 압력의 작용으로 다이어프램이 변형되면 브리지의 저항이 그에 따라 변경되어 브리지가 평형을 잃고 압력 변화에 해당하는 전기 신호를 얻어 압력 목적의 측정을 달성합니다. 압력 측정. 반도체 재료의 저항은 힘에 따라 변하는데, 이것이 바로 압저항 효과입니다.


Diffuse Silicon Pressure Sensors

 압력 트랜스미터 장착 방법


1. 원료

모든 종류의 반도체 재료는 그 내부 조직과 구조가 복잡하기 때문에 외력에 의한 압력 사이의 관계로 인해 미세한 알갱이 사이에 미세 변형이 발생하게 되고, 외력이 사라지면 미세 변형이 발생하게 됩니다. -변형이 사라졌지만 반드시 원래 상태로 복원되지는 않으며, 재료마다 완전히 다른 히스테리시스 특성을 갖습니다.

 

2. 장착 조건

표면 상태, 설치 토크 등이 가장 큰 영향 요인입니다. 또한 표면 상태, 접촉 면적, 설치 토크, 볼트 강도, 베어링 표면 경도와 같은 현장 사용 시 압력 센서의 설치 조건이 영향을 미칩니다. 이러한 영향 요인은 센서의 히스테리시스 특성 저하로 오해되는 경우가 있습니다.

 

이러한 영향은 센서와 직접적으로 접촉하며, 센서 자체와는 거의 관련이 없어 보이지만 센서의 정확도에 영향을 미치는 다른 요소도 있습니다. 이러한 요소의 예로는 스케일 플랫폼의 강도, 기초의 견고성, 먼지와 물에 대한 보호 등이 있습니다. 먼지와 물은 양호한 유지 관리 조건에서는 센서에 영향을 미치지 않지만 실외에서 사용할 때는 특별한 주의가 필요한 두 가지 요소입니다. 그 이유는 주로 센서 표면의 부식으로 인해 접점이 바뀌기 때문입니다. 특히 액세서리가 포함된 제품은 녹이 발생하여 액세서리와 센서가 손상될 수 있습니다."녹"함께 작용하여 정확도에 영향을 줍니다. 먼지가 센서의 정확도에 미치는 영향에 대해 숙련된 사용자는 밀봉 커버 증가, 적절한 양의 그리스로 코팅된 표면 및 기타 보호와 같은 적절한 보호 조치를 취해야 합니다.


Pressure Transmitter

 압력 튜브 연결의 개략도


센서의 히스테리시스 특성에 영향을 주어 측정 정확도에 영향을 미치는 것은 성능의 장기간 사용 안정성을 보장하기 위해 제조 및 실제 사용 과정에서 최대한 피해야 합니다.

 


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